本站消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS麦克风及其制备方法”，专利申请号为CN202211086114.3短线配资炒股，授权日为2025年4月4日。 专利摘要：本发明提供了一种MEMS麦克风及其制备方法。该制备方法中，通过去除牺牲材料层中位于振动膜端部的部分，以使背极板的侧边部可以抵接至振动膜的端部上以支撑所形成的背极板。并且，在刻蚀牺牲材料层以暴露出振动膜端部的过程中，通过调整刻蚀工艺以使牺牲材料层的侧壁倾斜度降低，如此，即可使得覆